VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
Si3N4/Si as rec'd, gray color, 90 deg TOA
1
 
NORM
REGULAR
8
0
0
0
0
0
8
 
Si3N4/Si as rec'd, gray color, 90 deg TOA
2003
5
10
14
51
27
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
156.73
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
1000
-1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
4
4.00E-06
0
0
0
0
2002
9
50053
0.0603073
0.288006
3828
0.288006
3868
0.287179
3617
0.286357
3763
0.285538
3745
0.284724
3725
0.283913
3613
0.283106
3686
0.282304
3659
0.281505
3652
0.28071
3718
0.279919
3643
0.279132
3820
0.278348
3779
0.277569
4003
0.276793
4262
0.276021
4470
0.275252
4695
0.274487
4967
0.273726
5363
0.272968
5232
0.272214
5022
0.271464
4721
0.270717
4413
0.269973
4249
0.269233
3967
0.268497
3780
0.267764
3759
0.267034
3544
0.266308
3255
0.265585
3137
0.264866
3026
0.26415
2877
0.263437
2825
0.262727
2733
0.262021
2741
0.261318
2803
0.260618
2851
0.259922
2765
0.259228
2740
0.258538
2715
0.257851
2818
0.257167
2688
0.256486
2842
0.255808
2828
0.255134
2791
0.254462
2821
0.253793
2782
0.253128
2861
0.252465
2727
0.251805
2839
0.251149
2711
0.250495
2833
0.249844
2983
0.249196
2969
0.248551
2929
0.247909
3004
0.247269
2984
0.246633
2917
0.245999
2963
0.245368
3027
0.24474
3006
0.244114
2971
0.243492
3019
0.242872
2953
0.242254
2958
0.24164
2881
0.241028
3024
0.240418
3025
0.239812
3017
0.239208
3065
0.238606
3024
0.238007
2953
0.237411
3064
0.236817
3062
0.236226
3205
0.235637
3154
0.235051
3083
0.234467
3106
0.233886
3221
0.233308
3205
0.232731
3128
0.232157
3171
0.231586
3236
0.231017
3219
0.23045
3242
0.229886
3201
0.229324
3185
0.228765
3159
0.228208
3186
0.227653
3246
0.2271
3335
0.22655
3369
0.226002
3280
0.225456
3267
0.224913
3346
0.224372
3256
0.223833
3185
0.223296
3405
0.222761
3330
0.222229
3278
0.221699
3333
0.221171
3385
0.220645
3372
0.220121
3358
0.219599
3414
0.21908
3358
0.218563
3460
0.218047
3372
0.217534
3447
0.217023
3491
0.216514
3401
0.216007
3511
0.215502
3476
0.214999
3513
0.214498
3490
0.213999
3567
0.213502
3509
0.213007
3518
0.212514
3541
0.212022
3588
0.211533
3621
0.211046
3484
0.210561
3562
0.210077
3691
0.209596
3655
0.209116
3667
0.208638
3621
0.208163
3620
0.207688
3765
0.207216
3693
0.206746
3699
0.206277
3727
0.205811
3695
0.205346
3786
0.204883
3847
0.204422
3760
0.203962
3809
0.203504
3772
0.203048
3892
0.202594
3682
0.202141
3757
0.201691
3878
0.201242
3782
0.200794
3759
0.200349
3890
0.199905
3941
0.199462
3866
0.199022
3834
0.198583
3901
0.198146
3862
0.19771
3914
0.197276
3995
0.196844
3969
0.196413
3836
0.195984
4079
0.195556
4028
0.19513
3947
0.194706
4084
0.194283
3975
0.193862
4117
0.193443
4100
0.193024
4004
0.192608
4038
0.192193
4047
0.19178
4132
0.191368
4253
0.190957
4052
0.190548
4211
0.190141
4162
0.189735
4166
0.189331
4198
0.188928
4092
0.188526
4142
0.188126
4134
0.187728
4214
0.18733
4184
0.186935
4159
0.18654
4246
0.186148
4103
0.185756
4208
0.185366
4129
0.184978
4248
0.18459
4268
0.184205
4257
0.18382
4336
0.183437
4431
0.183055
4400
0.182675
4405
0.182296
4393
0.181918
4437
0.181542
4335
0.181167
4353
0.180793
4396
0.180421
4511
0.18005
4413
0.17968
4542
0.179312
4350
0.178945
4472
0.178579
4542
0.178214
4408
0.177851
4580
0.177489
4616
0.177128
4546
0.176769
4675
0.176411
4613
0.176054
4475
0.175698
4533
0.175343
4583
0.17499
4565
0.174638
4616
0.174287
4573
0.173937
4596
0.173589
4638
0.173242
4716
0.172896
4707
0.172551
4740
0.172207
4758
0.171864
4817
0.171523
4715
0.171183
4864
0.170844
4722
0.170506
4878
0.170169
4800
0.169833
4743
0.169499
4900
0.169165
4845
0.168833
4794
0.168502
4835
0.168172
4844
0.167843
4854
0.167515
4854
0.167189
4914
0.166863
5053
0.166538
5031
0.166215
4883
0.165893
5046
0.165571
5003
0.165251
5100
0.164932
4959
0.164614
4987
0.164297
5064
0.163981
5003
0.163666
5031
0.163352
5102
0.163039
5144
0.162727
5190
0.162416
5175
0.162106
5079
0.161797
5075
0.161489
5216
0.161182
5124
0.160877
5317
0.160572
5242
0.160268
5177
0.159965
5211
0.159663
5250
0.159362
5217
0.159062
5296
0.158763
5278
0.158465
5304
0.158168
5398
0.157872
5287
0.157577
5359
0.157283
5411
0.156989
5234
0.156697
5350
0.156406
5370
0.156115
5415
0.155825
5361
0.155537
5519
0.155249
5390
0.154962
5503
0.154676
5354
0.154391
5400
0.154107
5510
0.153824
5450
0.153542
5566
0.15326
5439
0.15298
5588
0.1527
5578
0.152421
5631
0.152143
5734
0.151866
5586
0.15159
5579
0.151315
5657
0.15104
5452
0.150767
5622
0.150494
5684
0.150222
5638
0.149951
5646
0.149681
5632
0.149411
5721
0.149143
5925
0.148875
5819
0.148608
5681
0.148342
5834
0.148077
5800
0.147812
5933
0.147548
5868
0.147285
5760
0.147023
5998
0.146762
5840
0.146502
5826
0.146242
5950
0.145983
5942
0.145725
6049
0.145468
5886
0.145211
6060
0.144955
6016
0.1447
6084
0.144446
6155
0.144193
6014
0.14394
6075
0.143688
6065
0.143437
6183
0.143186
6039
0.142937
6189
0.142688
6120
0.142439
6042
0.142192
5981
0.141945
6190
0.141699
6100
0.141454
6257
0.141209
6385
0.140965
6184
0.140722
6411
0.14048
6295
0.140238
6276
0.139997
6389
0.139757
6264
0.139518
6261
0.139279
6435
0.139041
6369
0.138803
6330
0.138566
6355
0.13833
6612
0.138095
6514
0.13786
6370
0.137626
6443
0.137393
6437
0.13716
6369
0.136928
6603
0.136697
6545
0.136466
6671
0.136236
6540
0.136007
6511
0.135779
6654
0.135551
6655
0.135323
6671
0.135097
6711
0.134871
6811
0.134645
6613
0.13442
6801
0.134196
6819
0.133973
6912
0.13375
6861
0.133528
6734
0.133306
6987
0.133085
6969
0.132865
6717
0.132645
7108
0.132426
7119
0.132208
7019
0.13199
6969
0.131773
6949
0.131556
7183
0.13134
6969
0.131125
7066
0.13091
7124
0.130696
7253
0.130483
7265
0.13027
7176
0.130057
7165
0.129846
7329
0.129634
7316
0.129424
7349
0.129214
7382
0.129004
7280
0.128795
7478
0.128587
7360
0.12838
7695
0.128172
7552
0.127966
7399
0.12776
7552
0.127555
7582
0.12735
7616
0.127145
7619
0.126942
7655
0.126739
7633
0.126536
7751
0.126334
7815
0.126132
7822
0.125931
7911
0.125731
7654
0.125531
7761
0.125332
7974
0.125133
8022
0.124935
8011
0.124737
7964
0.12454
7891
0.124344
8044
0.124147
8231
0.123952
8366
0.123757
8201
0.123562
8133
0.123368
8274
0.123175
8307
0.122982
8239
0.12279
8411
0.122598
8280
0.122406
8484
0.122215
8646
0.122025
8555
0.121835
8543
0.121646
8731
0.121457
8617
0.121269
8600
0.121081
8735
0.120893
8826
0.120707
8763
0.12052
8773
0.120334
8838
0.120149
8973
0.119964
8946
0.11978
9107
0.119596
9088
0.119412
9150
0.119229
9147
0.119047
9137
0.118865
9314
0.118683
9219
0.118502
9179
0.118322
9269
0.118142
9320
0.117962
9680
0.117783
9781
0.117604
9749
0.117426
9827
0.117248
10147
0.117071
10272
0.116894
10310
0.116718
10341
0.116542
10480
0.116366
10628
0.116191
10483
0.116017
10232
0.115843
9955
0.115669
9980
0.115496
9822
0.115323
9844
0.115151
9789
0.114979
9580
0.114807
9580
0.114636
9564
0.114466
9380
0.114295
9424
0.114126
9253
0.113956
8997
0.113788
8939
0.113619
8905
0.113451
9015
0.113284
9228
0.113116
9926
0.11295
14289
0.112783
28405
0.112617
37926
0.112452
23104
0.112287
12220
0.112122
9917
0.111958
9341
0.111794
9213
0.111631
9175
0.111468
9036
0.111305
8945
0.111143
9037
0.110981
8999
0.11082
9061
0.110659
9188
0.110498
9105
0.110338
9108
0.110178
9074
0.110019
9229
0.10986
9279
0.109701
9256
0.109543
9252
0.109385
9263
0.109228
9307
0.109071
9176
0.108914
9550
0.108758
9475
0.108602
9485
0.108447
9422
0.108292
9454
0.108137
9578
0.107982
9553
0.107829
9602
0.107675
9654
0.107522
9690
0.107369
9749
0.107216
9714
0.107064
9782
0.106912
9677
0.106761
9764
0.10661
9780
0.106459
9894
0.106309
9826
0.106159
9842
0.10601
9844
0.105861
9998
0.105712
10078
0.105563
9997
0.105415
10088
0.105267
10076
0.10512
10219
0.104973
10237
0.104826
10110
0.10468
10177
0.104534
10326
0.104388
10281
0.104243
10257
0.104098
10277
0.103953
10528
0.103809
10405
0.103665
10400
0.103522
10487
0.103378
10410
0.103235
10570
0.103093
10516
0.102951
10583
0.102809
10599
0.102667
10443
0.102526
10701
0.102385
10688
0.102245
10627
0.102104
10521
0.101964
10671
0.101825
10650
0.101686
10903
0.101547
10784
0.101408
10847
0.10127
10908
0.101132
10858
0.100994
10951
0.100857
10949
0.10072
10956
0.100583
10707
0.100447
10989
0.100311
11124
0.100175
11154
0.10004
11187
0.0999048
11190
0.09977
11263
0.0996356
11405
0.0995014
11359
0.0993676
11281
0.099234
11235
0.0991008
11416
0.0989679
11179
0.0988353
11295
0.098703
11131
0.098571
11153
0.0984393
10816
0.0983079
11016
0.0981767
10664
0.0980459
10698
0.0979154
10646
0.0977852
10644
0.0976553
10707
0.0975257
10807
0.0973964
10927
0.0972674
10967
0.0971386
11255
0.0970102
11267
0.096882
11463
0.0967542
12041
0.0966266
12451
0.0964993
12878
0.0963723
13010
0.0962456
12614
0.0961192
12423
0.095993
12027
0.0958672
11147
0.0957416
10457
0.0956163
10198
0.0954913
9767
0.0953666
9214
0.0952421
8818
0.095118
8378
0.0949941
7999
0.0948704
7433
0.0947471
7022
0.094624
6730
0.0945012
6431
0.0943787
6179
0.0942564
5893
0.0941345
6245
0.0940128
6578
0.0938913
7636
0.0937701
13026
0.0936492
38057
0.0935286
50053
0.0934082
19940
0.0932881
7754
0.0931683
6282
0.0930487
5858
0.0929294
5382
0.0928103
5463
0.0926915
5275
0.092573
5268
0.0924547
5204
0.0923367
5277
0.092219
5272
0.0921015
5283
0.0919842
5281
0.0918672
5180
0.0917505
5237
0.091634
5366
0.0915178
5339
0.0914018
5435
0.0912861
5232
0.0911707
5341
0.0910554
5320
0.0909405
5341
0.0908257
5384
0.0907113
5339
0.090597
5296
0.0904831
5403
0.0903693
5263
0.0902558
5326
0.0901426
5278
0.0900296
5316
0.0899168
5353
0.0898043
5342
0.089692
5371
0.08958
5280
0.0894682
5516
0.0893567
5371
0.0892453
5438
0.0891343
5397
0.0890234
5446
0.0889128
5569
0.0888024
5449
0.0886923
5640
0.0885824
5476
0.0884727
5398
0.0883633
5747
0.0882541
5335
0.0881451
5478
0.0880364
5437
0.0879279
5449
0.0878196
5463
0.0877115
5405
0.0876037
5577
0.0874961
5581
0.0873887
5600
0.0872815
5599
0.0871746
5601
0.0870679
5636
0.0869614
5576
0.0868552
5657
0.0867492
5697
0.0866434
5615
0.0865378
5668
0.0864324
5594
0.0863272
5608
0.0862223
5643
0.0861176
5828
0.0860131
5674
0.0859088
5636
0.0858048
5744
0.0857009
5814
0.0855973
5853
0.0854939
5987
0.0853907
5740
0.0852877
5813
0.0851849
5876
0.0850824
5855
0.08498
5810
0.0848779
6023
0.0847759
5988
0.0846742
6087
0.0845727
6103
0.0844714
5969
0.0843703
6159
0.0842694
6042
0.0841688
6111
0.0840683
6152
0.083968
6060
0.0838679
6071
0.0837681
6220
0.0836684
6079
0.083569
5964
0.0834697
6075
0.0833707
6084
0.0832718
6217
0.0831732
6120
0.0830747
6094
0.0829765
6031
0.0828784
6055
0.0827806
5942
0.0826829
5965
0.0825855
5943
0.0824882
6025
0.0823912
5867
0.0822943
5799
0.0821976
5752
0.0821012
5928
0.0820049
6079
0.0819088
6579
0.0818129
6989
0.0817172
8057
0.0816217
10694
0.0815264
15853
0.0814312
13715
0.0813363
7438
0.0812415
5979
0.081147
5753
0.0810526
5671
0.0809584
5665
0.0808644
5528
0.0807706
5609
0.080677
5641
0.0805835
5649
0.0804903
5735
0.0803972
5498
0.0803043
5493
0.0802116
5577
0.0801191
5710
0.0800268
5588
0.0799346
5571
0.0798427
5485
0.0797509
5744
0.0796593
5724
0.0795678
5626
0.0794766
5658
0.0793855
5645
0.0792946
5667
0.0792039
5617
0.0791134
5608
0.079023
5709
0.0789329
5731
0.0788429
5595
0.078753
5643
0.0786634
5567
0.0785739
5785
0.0784846
5699
0.0783955
5616
0.0783065
5712
0.0782177
5800
0.0781291
5798
0.0780407
5764
0.0779524
5693
0.0778643
5606
0.0777764
5879
0.0776886
5872
0.0776011
5812
0.0775136
5691
0.0774264
5818
0.0773393
5733
0.0772524
5679
0.0771657
5793
0.0770791
5653
0.0769927
5881
0.0769064
5945
0.0768203
6040
0.0767344
5888
0.0766487
5908
0.0765631
5995
0.0764777
5917
0.0763924
5826
0.0763073
5844
0.0762224
6015
0.0761376
6023
0.076053
5808
0.0759685
5914
0.0758842
5861
0.0758001
6042
0.0757162
5989
0.0756323
6041
0.0755487
6016
0.0754652
6056
0.0753819
5924
0.0752987
6030
0.0752157
6109
0.0751328
6023
0.0750501
6127
0.0749675
6040
0.0748852
6155
0.0748029
5920
0.0747208
6223
0.0746389
6085
0.0745571
6139
0.0744755
6234
0.074394
6084
0.0743127
6219
0.0742315
6267
0.0741505
6231
0.0740697
6418
0.073989
6309
0.0739084
6300
0.073828
6190
0.0737477
6250
0.0736676
6286
0.0735877
6171
0.0735078
6295
0.0734282
6111
0.0733487
6324
0.0732693
6170
0.0731901
6139
0.073111
6072
0.0730321
6249
0.0729533
6126
0.0728746
6189
0.0727961
6356
0.0727178
6266
0.0726396
6443
0.0725615
6614
0.0724836
6903
0.0724059
6917
0.0723282
7208
0.0722507
7344
0.0721734
7392
0.0720962
7393
0.0720191
7283
0.0719422
7182
0.0718654
6869
0.0717888
6651
0.0717123
6278
0.0716359
6174
0.0715597
5928
0.0714836
5766
0.0714077
5320
0.0713319
5118
0.0712562
4897
0.0711807
4655
0.0711053
4426
0.07103
4299
0.0709549
4236
0.0708799
4136
0.0708051
4329
0.0707304
4489
0.0706558
5392
0.0705814
8033
0.0705071
14885
0.0704329
23259
0.0703588
20301
0.0702849
10921
0.0702112
6599
0.0701375
5089
0.070064
4382
0.0699906
4017
0.0699174
3976
0.0698443
3525
0.0697713
3525
0.0696984
3512
0.0696257
3388
0.0695531
3430
0.0694807
3293
0.0694083
3280
0.0693361
3246
0.0692641
3262
0.0691921
3212
0.0691203
3281
0.0690486
3299
0.068977
3287
0.0689056
3244
0.0688343
3408
0.0687631
3570
0.0686921
3519
0.0686211
3709
0.0685503
3961
0.0684796
4020
0.0684091
4255
0.0683386
4153
0.0682683
4007
0.0681982
3870
0.0681281
3680
0.0680582
3343
0.0679883
2986
0.0679187
2968
0.0678491
2698
0.0677796
2491
0.0677103
2322
0.0676411
2125
0.067572
1876
0.0675031
1594
0.0674342
1446
0.0673655
1274
0.0672969
1090
0.0672284
1034
0.0671601
853
0.0670918
923
0.0670237
1195
0.0669557
2970
0.0668878
9085
0.06682
20929
0.0667524
19906
0.0666849
6271
0.0666174
1761
0.0665501
1162
0.066483
813
0.0664159
657
0.0663489
599
0.0662821
580
0.0662154
512
0.0661488
495
0.0660823
526
0.0660159
586
0.0659496
547
0.0658835
573
0.0658175
568
0.0657515
534
0.0656857
577
0.06562
584
0.0655545
585
0.065489
595
0.0654236
615
0.0653584
562
0.0652932
646
0.0652282
562
0.0651633
580
0.0650985
578
0.0650338
583
0.0649692
620
0.0649048
598
0.0648404
613
0.0647761
605
0.064712
621
0.064648
615
0.064584
568
0.0645202
638
0.0644565
670
0.0643929
623
0.0643294
647
0.064266
592
0.0642027
608
0.0641396
625
0.0640765
596
0.0640135
604
0.0639507
619
0.0638879
634
0.0638253
619
0.0637628
656
0.0637003
646
0.063638
665
0.0635758
663
0.0635136
654
0.0634516
680
0.0633897
694
0.0633279
727
0.0632662
722
0.0632046
755
0.0631431
759
0.0630817
757
0.0630204
747
0.0629592
760
0.0628981
750
0.0628371
739
0.0627762
711
0.0627155
663
0.0626548
724
0.0625942
687
0.0625337
638
0.0624733
668
0.062413
665
0.0623528
624
0.0622928
668
0.0622328
628
0.0621729
663
0.0621131
802
0.0620534
827
0.0619938
1036
0.0619343
1117
0.0618749
1093
0.0618156
898
0.0617564
885
0.0616973
957
0.0616383
1216
0.0615794
1383
0.0615206
1321
0.0614619
962
0.0614032
538
0.0613447
363
0.0612863
421
0.0612279
539
0.0611697
802
0.0611115
938
0.0610535
816
0.0609955
741
0.0609377
721
0.0608799
716
0.0608222
548
0.0607647
397
0.0607072
260
0.0606498
209
0.0605925
83
0.0605353
38
0.0604781
16
0.0604211
15
0.0603642
9
0.0603073
 
Si3N4/Si as rec'd, gray color, 90 deg TOA
2003
5
10
14
51
30
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
156.73
1
0
0
1000
2000
55
0
data_2
data_2
-1
Binding energy
eV
40
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
4
4.00E-06
0
0
0
0
1002
3
1477
0.059744
0.0626548
693
0.0626548
730
0.0626487
704
0.0626426
697
0.0626366
736
0.0626305
740
0.0626245
682
0.0626184
718
0.0626124
656
0.0626063
710
0.0626002
735
0.0625942
629
0.0625881
690
0.0625821
667
0.062576
703
0.06257
716
0.0625639
655
0.0625579
694
0.0625518
649
0.0625458
667
0.0625397
685
0.0625337
645
0.0625277
623
0.0625216
650
0.0625156
642
0.0625095
672
0.0625035
672
0.0624975
660
0.0624914
644
0.0624854
688
0.0624793
638
0.0624733
697
0.0624673
667
0.0624612
636
0.0624552
672
0.0624492
647
0.0624432
675
0.0624371
661
0.0624311
715
0.0624251
672
0.0624191
703
0.062413
665
0.062407
652
0.062401
681
0.062395
642
0.0623889
625
0.0623829
639
0.0623769
674
0.0623709
644
0.0623649
642
0.0623589
698
0.0623528
685
0.0623468
661
0.0623408
676
0.0623348
623
0.0623288
670
0.0623228
664
0.0623168
695
0.0623108
666
0.0623048
659
0.0622988
671
0.0622928
658
0.0622868
662
0.0622807
658
0.0622747
675
0.0622687
610
0.0622627
681
0.0622568
675
0.0622508
644
0.0622448
654
0.0622388
673
0.0622328
680
0.0622268
664
0.0622208
682
0.0622148
675
0.0622088
661
0.0622028
639
0.0621968
610
0.0621908
636
0.0621848
634
0.0621789
651
0.0621729
649
0.0621669
662
0.0621609
682
0.0621549
646
0.062149
648
0.062143
707
0.062137
662
0.062131
704
0.062125
680
0.0621191
681
0.0621131
678
0.0621071
667
0.0621011
699
0.0620952
672
0.0620892
711
0.0620832
708
0.0620773
744
0.0620713
718
0.0620653
671
0.0620594
713
0.0620534
708
0.0620474
715
0.0620415
754
0.0620355
694
0.0620295
789
0.0620236
810
0.0620176
749
0.0620117
767
0.0620057
809
0.0619998
800
0.0619938
786
0.0619879
823
0.0619819
841
0.0619759
930
0.06197
835
0.061964
900
0.0619581
913
0.0619521
958
0.0619462
928
0.0619403
941
0.0619343
986
0.0619284
969
0.0619224
998
0.0619165
1020
0.0619105
1069
0.0619046
1072
0.0618987
1040
0.0618927
1097
0.0618868
1184
0.0618808
1159
0.0618749
1136
0.061869
1179
0.061863
1150
0.0618571
1183
0.0618512
1209
0.0618453
1182
0.0618393
1126
0.0618334
1184
0.0618275
1173
0.0618215
1183
0.0618156
1190
0.0618097
1087
0.0618038
1176
0.0617978
1093
0.0617919
1081
0.061786
1074
0.0617801
1020
0.0617742
985
0.0617682
998
0.0617623
977
0.0617564
937
0.0617505
922
0.0617446
934
0.0617387
822
0.0617328
880
0.0617268
831
0.0617209
822
0.061715
837
0.0617091
871
0.0617032
849
0.0616973
770
0.0616914
788
0.0616855
790
0.0616796
829
0.0616737
851
0.0616678
866
0.0616619
847
0.061656
842
0.0616501
816
0.0616442
849
0.0616383
903
0.0616324
942
0.0616265
905
0.0616206
981
0.0616147
999
0.0616088
1002
0.0616029
1088
0.061597
1045
0.0615912
1102
0.0615853
1102
0.0615794
1170
0.0615735
1144
0.0615676
1176
0.0615617
1247
0.0615558
1213
0.06155
1281
0.0615441
1305
0.0615382
1247
0.0615323
1347
0.0615264
1377
0.0615206
1385
0.0615147
1408
0.0615088
1358
0.0615029
1375
0.0614971
1410
0.0614912
1477
0.0614853
1422
0.0614795
1460
0.0614736
1462
0.0614677
1446
0.0614619
1414
0.061456
1422
0.0614501
1346
0.0614443
1421
0.0614384
1347
0.0614325
1302
0.0614267
1323
0.0614208
1263
0.0614149
1188
0.0614091
1211
0.0614032
1090
0.0613974
1047
0.0613915
1011
0.0613857
940
0.0613798
887
0.061374
825
0.0613681
738
0.0613622
742
0.0613564
686
0.0613506
700
0.0613447
603
0.0613389
564
0.061333
531
0.0613272
478
0.0613213
454
0.0613155
489
0.0613096
453
0.0613038
411
0.0612979
423
0.0612921
404
0.0612863
385
0.0612804
366
0.0612746
357
0.0612688
317
0.0612629
346
0.0612571
333
0.0612513
360
0.0612454
367
0.0612396
388
0.0612338
373
0.0612279
385
0.0612221
376
0.0612163
382
0.0612105
387
0.0612046
394
0.0611988
375
0.061193
421
0.0611872
456
0.0611813
433
0.0611755
449
0.0611697
443
0.0611639
449
0.0611581
475
0.0611522
530
0.0611464
539
0.0611406
540
0.0611348
612
0.061129
586
0.0611232
710
0.0611174
713
0.0611115
708
0.0611057
751
0.0610999
793
0.0610941
797
0.0610883
864
0.0610825
868
0.0610767
893
0.0610709
915
0.0610651
961
0.0610593
939
0.0610535
976
0.0610477
1006
0.0610419
970
0.0610361
960
0.0610303
911
0.0610245
919
0.0610187
907
0.0610129
949
0.0610071
889
0.0610013
905
0.0609955
851
0.0609897
816
0.060984
825
0.0609782
838
0.0609724
814
0.0609666
775
0.0609608
751
0.060955
763
0.0609492
745
0.0609435
779
0.0609377
711
0.0609319
701
0.0609261
783
0.0609203
722
0.0609146
686
0.0609088
719
0.060903
726
0.0608972
699
0.0608915
699
0.0608857
744
0.0608799
738
0.0608741
686
0.0608684
694
0.0608626
696
0.0608568
702
0.0608511
711
0.0608453
676
0.0608395
723
0.0608338
636
0.060828
710
0.0608222
723
0.0608165
664
0.0608107
722
0.0608049
699
0.0607992
637
0.0607934
659
0.0607877
673
0.0607819
677
0.0607762
624
0.0607704
662
0.0607647
631
0.0607589
627
0.0607531
644
0.0607474
595
0.0607416
536
0.0607359
548
0.0607301
544
0.0607244
506
0.0607187
528
0.0607129
450
0.0607072
479
0.0607014
447
0.0606957
406
0.0606899
443
0.0606842
405
0.0606785
384
0.0606727
389
0.060667
353
0.0606612
339
0.0606555
342
0.0606498
347
0.060644
320
0.0606383
292
0.0606326
292
0.0606268
275
0.0606211
266
0.0606154
276
0.0606096
237
0.0606039
250
0.0605982
231
0.0605925
262
0.0605867
229
0.060581
232
0.0605753
186
0.0605696
210
0.0605639
207
0.0605581
170
0.0605524
160
0.0605467
149
0.060541
131
0.0605353
114
0.0605295
101
0.0605238
124
0.0605181
106
0.0605124
82
0.0605067
86
0.060501
74
0.0604953
61
0.0604896
53
0.0604838
57
0.0604781
43
0.0604724
34
0.0604667
31
0.060461
33
0.0604553
26
0.0604496
33
0.0604439
32
0.0604382
21
0.0604325
20
0.0604268
18
0.0604211
23
0.0604154
15
0.0604097
17
0.060404
17
0.0603983
11
0.0603926
14
0.0603869
14
0.0603813
16
0.0603756
10
0.0603699
14
0.0603642
8
0.0603585
9
0.0603528
16
0.0603471
18
0.0603414
11
0.0603358
13
0.0603301
9
0.0603244
7
0.0603187
13
0.060313
11
0.0603073
10
0.0603017
10
0.060296
16
0.0602903
10
0.0602846
12
0.060279
12
0.0602733
11
0.0602676
7
0.0602619
7
0.0602563
9
0.0602506
7
0.0602449
8
0.0602393
9
0.0602336
10
0.0602279
8
0.0602223
9
0.0602166
12
0.0602109
8
0.0602053
12
0.0601996
9
0.0601939
8
0.0601883
11
0.0601826
4
0.060177
5
0.0601713
7
0.0601656
10
0.06016
7
0.0601543
7
0.0601487
9
0.060143
12
0.0601374
8
0.0601317
3
0.0601261
8
0.0601204
10
0.0601148
8
0.0601091
8
0.0601035
5
0.0600978
7
0.0600922
6
0.0600865
7
0.0600809
5
0.0600753
4
0.0600696
5
0.060064
7
0.0600583
6
0.0600527
6
0.0600471
7
0.0600414
5
0.0600358
5
0.0600302
9
0.0600245
8
0.0600189
16
0.0600133
7
0.0600076
6
0.060002
7
0.0599964
6
0.0599907
3
0.0599851
9
0.0599795
6
0.0599738
5
0.0599682
11
0.0599626
6
0.059957
10
0.0599514
6
0.0599457
7
0.0599401
3
0.0599345
7
0.0599289
7
0.0599233
5
0.0599176
4
0.059912
8
0.0599064
4
0.0599008
8
0.0598952
6
0.0598896
3
0.059884
3
0.0598783
11
0.0598727
5
0.0598671
10
0.0598615
9
0.0598559
6
0.0598503
4
0.0598447
5
0.0598391
4
0.0598335
7
0.0598279
4
0.0598223
8
0.0598167
10
0.0598111
9
0.0598055
5
0.0597999
5
0.0597943
5
0.0597887
4
0.0597831
12
0.0597775
10
0.0597719
7
0.0597663
8
0.0597607
8
0.0597551
13
0.0597495
7
0.059744
 
Si3N4/Si as rec'd, gray color, 90 deg TOA
2003
5
10
14
51
30
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.02
1
0
0
1000
2000
55
0
data_3
data_3
-1
Binding energy
eV
298
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
4
4.00E-06
0
0
0
0
802
0
2820
0.126345
0.128793
114
0.128793
190
0.128787
139
0.128781
66
0.128775
112
0.128768
104
0.128762
109
0.128756
140
0.12875
132
0.128744
92
0.128737
128
0.128731
115
0.128725
116
0.128719
160
0.128712
100
0.128706
149
0.1287
198
0.128694
44
0.128688
96
0.128681
117
0.128675
110
0.128669
98
0.128663
55
0.128656
51
0.12865
129
0.128644
137
0.128638
152
0.128632
52
0.128625
113
0.128619
131
0.128613
166
0.128607
76
0.1286
128
0.128594
84
0.128588
132
0.128582
89
0.128576
79
0.128569
67
0.128563
157
0.128557
109
0.128551
80
0.128545
127
0.128538
102
0.128532
134
0.128526
70
0.12852
92
0.128514
97
0.128507
129
0.128501
92
0.128495
132
0.128489
131
0.128483
92
0.128476
121
0.12847
164
0.128464
96
0.128458
96
0.128452
104
0.128445
86
0.128439
139
0.128433
123
0.128427
95
0.128421
142
0.128414
79
0.128408
117
0.128402
146
0.128396
152
0.12839
115
0.128383
41
0.128377
95
0.128371
154
0.128365
158
0.128359
91
0.128352
112
0.128346
153
0.12834
51
0.128334
109
0.128328
105
0.128321
148
0.128315
103
0.128309
57
0.128303
150
0.128297
106
0.128291
103
0.128284
15
0.128278
107
0.128272
140
0.128266
107
0.12826
111
0.128253
50
0.128247
98
0.128241
163
0.128235
93
0.128229
113
0.128223
102
0.128216
85
0.12821
42
0.128204
103
0.128198
141
0.128192
110
0.128185
94
0.128179
63
0.128173
75
0.128167
80
0.128161
114
0.128155
156
0.128148
123
0.128142
119
0.128136
130
0.12813
103
0.128124
78
0.128118
93
0.128111
115
0.128105
135
0.128099
128
0.128093
88
0.128087
128
0.128081
76
0.128074
171
0.128068
117
0.128062
84
0.128056
182
0.12805
132
0.128044
92
0.128037
116
0.128031
103
0.128025
134
0.128019
132
0.128013
138
0.128007
125
0.128
64
0.127994
142
0.127988
105
0.127982
152
0.127976
162
0.12797
109
0.127963
122
0.127957
139
0.127951
172
0.127945
219
0.127939
175
0.127933
204
0.127927
225
0.12792
211
0.127914
199
0.127908
305
0.127902
288
0.127896
175
0.12789
235
0.127884
295
0.127877
275
0.127871
233
0.127865
339
0.127859
297
0.127853
244
0.127847
218
0.12784
291
0.127834
306
0.127828
235
0.127822
244
0.127816
267
0.12781
351
0.127804
303
0.127797
319
0.127791
304
0.127785
319
0.127779
235
0.127773
251
0.127767
227
0.127761
358
0.127755
371
0.127748
292
0.127742
305
0.127736
247
0.12773
315
0.127724
261
0.127718
421
0.127712
348
0.127705
365
0.127699
345
0.127693
363
0.127687
394
0.127681
361
0.127675
396
0.127669
432
0.127663
363
0.127656
383
0.12765
386
0.127644
434
0.127638
410
0.127632
481
0.127626
467
0.12762
481
0.127614
514
0.127607
490
0.127601
583
0.127595
625
0.127589
689
0.127583
677
0.127577
644
0.127571
682
0.127565
713
0.127558
779
0.127552
794
0.127546
786
0.12754
779
0.127534
804
0.127528
831
0.127522
834
0.127516
923
0.127509
983
0.127503
1017
0.127497
992
0.127491
1036
0.127485
1093
0.127479
1039
0.127473
1092
0.127467
1205
0.127461
1232
0.127454
1229
0.127448
1427
0.127442
1447
0.127436
1559
0.12743
1735
0.127424
1728
0.127418
1805
0.127412
2037
0.127406
2100
0.127399
2188
0.127393
2286
0.127387
2455
0.127381
2479
0.127375
2526
0.127369
2645
0.127363
2651
0.127357
2683
0.127351
2767
0.127345
2789
0.127338
2809
0.127332
2820
0.127326
2622
0.12732
2595
0.127314
2512
0.127308
2458
0.127302
2372
0.127296
2116
0.12729
2051
0.127284
1948
0.127277
1871
0.127271
1688
0.127265
1565
0.127259
1348
0.127253
1230
0.127247
1242
0.127241
990
0.127235
955
0.127229
864
0.127223
771
0.127217
644
0.12721
605
0.127204
440
0.127198
485
0.127192
465
0.127186
389
0.12718
336
0.127174
306
0.127168
238
0.127162
228
0.127156
236
0.12715
178
0.127144
203
0.127137
168
0.127131
149
0.127125
141
0.127119
121
0.127113
122
0.127107
137
0.127101
167
0.127095
166
0.127089
87
0.127083
155
0.127077
44
0.127071
75
0.127065
135
0.127058
74
0.127052
56
0.127046
116
0.12704
173
0.127034
54
0.127028
48
0.127022
106
0.127016
65
0.12701
56
0.127004
157
0.126998
48
0.126992
11
0.126986
18
0.12698
42
0.126973
65
0.126967
65
0.126961
111
0.126955
80
0.126949
40
0.126943
73
0.126937
81
0.126931
64
0.126925
33
0.126919
68
0.126913
42
0.126907
46
0.126901
131
0.126895
74
0.126889
72
0.126883
69
0.126876
61
0.12687
31
0.126864
80
0.126858
70
0.126852
90
0.126846
99
0.12684
95
0.126834
66
0.126828
66
0.126822
31
0.126816
36
0.12681
45
0.126804
26
0.126798
50
0.126792
58
0.126786
79
0.12678
44
0.126774
74
0.126768
112
0.126761
21
0.126755
43
0.126749
88
0.126743
121
0.126737
109
0.126731
63
0.126725
71
0.126719
111
0.126713
84
0.126707
61
0.126701
37
0.126695
86
0.126689
75
0.126683
28
0.126677
36
0.126671
63
0.126665
79
0.126659
0
0.126653
65
0.126647
62
0.126641
84
0.126635
61
0.126629
36
0.126622
38
0.126616
65
0.12661
69
0.126604
58
0.126598
91
0.126592
77
0.126586
103
0.12658
89
0.126574
74
0.126568
60
0.126562
77
0.126556
100
0.12655
133
0.126544
105
0.126538
73
0.126532
28
0.126526
66
0.12652
37
0.126514
53
0.126508
54
0.126502
139
0.126496
30
0.12649
151
0.126484
99
0.126478
66
0.126472
31
0.126466
2
0.12646
78
0.126454
87
0.126448
91
0.126442
19
0.126436
13
0.12643
63
0.126424
3
0.126418
38
0.126412
96
0.126406
93
0.1264
52
0.126394
103
0.126388
98
0.126381
65
0.126375
49
0.126369
83
0.126363
59
0.126357
111
0.126351
74
0.126345
 
Si3N4/Si as rec'd, gray color, 90 deg TOA
2003
5
10
14
51
30
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.02
1
0
0
1000
2000
55
0
data_4
data_4
-1
Binding energy
eV
544
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
4
4.00E-06
0
0
0
0
802
0
7988
0.164143
0.168154
156
0.168154
171
0.168144
231
0.168134
235
0.168124
164
0.168113
168
0.168103
153
0.168093
186
0.168083
220
0.168072
160
0.168062
190
0.168052
181
0.168042
192
0.168031
208
0.168021
149
0.168011
165
0.168001
66
0.16799
172
0.16798
128
0.16797
238
0.16796
148
0.167949
118
0.167939
196
0.167929
212
0.167919
190
0.167908
155
0.167898
126
0.167888
165
0.167878
200
0.167868
216
0.167857
203
0.167847
115
0.167837
91
0.167827
133
0.167816
143
0.167806
179
0.167796
220
0.167786
97
0.167776
122
0.167765
135
0.167755
133
0.167745
151
0.167735
157
0.167724
73
0.167714
45
0.167704
78
0.167694
260
0.167684
164
0.167673
151
0.167663
151
0.167653
175
0.167643
59
0.167633
170
0.167622
238
0.167612
104
0.167602
153
0.167592
96
0.167582
87
0.167571
112
0.167561
90
0.167551
104
0.167541
88
0.167531
111
0.167521
108
0.16751
132
0.1675
73
0.16749
129
0.16748
155
0.16747
172
0.167459
90
0.167449
163
0.167439
144
0.167429
92
0.167419
192
0.167409
136
0.167398
167
0.167388
93
0.167378
173
0.167368
113
0.167358
95
0.167348
105
0.167337
86
0.167327
78
0.167317
49
0.167307
129
0.167297
118
0.167287
97
0.167276
138
0.167266
100
0.167256
23
0.167246
111
0.167236
139
0.167226
94
0.167216
210
0.167205
174
0.167195
152
0.167185
153
0.167175
52
0.167165
120
0.167155
96
0.167144
100
0.167134
203
0.167124
161
0.167114
105
0.167104
255
0.167094
95
0.167084
72
0.167074
122
0.167063
173
0.167053
167
0.167043
116
0.167033
140
0.167023
143
0.167013
123
0.167003
182
0.166992
131
0.166982
136
0.166972
192
0.166962
166
0.166952
81
0.166942
153
0.166932
115
0.166922
138
0.166911
213
0.166901
187
0.166891
163
0.166881
113
0.166871
104
0.166861
103
0.166851
151
0.166841
135
0.166831
120
0.16682
165
0.16681
131
0.1668
195
0.16679
171
0.16678
221
0.16677
198
0.16676
135
0.16675
81
0.16674
175
0.16673
189
0.166719
204
0.166709
238
0.166699
143
0.166689
271
0.166679
239
0.166669
181
0.166659
194
0.166649
269
0.166639
268
0.166629
207
0.166619
227
0.166609
238
0.166598
324
0.166588
284
0.166578
398
0.166568
361
0.166558
387
0.166548
425
0.166538
388
0.166528
456
0.166518
510
0.166508
516
0.166498
553
0.166488
663
0.166478
658
0.166467
675
0.166457
853
0.166447
807
0.166437
903
0.166427
924
0.166417
976
0.166407
1092
0.166397
1220
0.166387
1338
0.166377
1422
0.166367
1551
0.166357
1602
0.166347
1868
0.166337
1944
0.166327
2271
0.166317
2409
0.166307
2563
0.166297
2992
0.166286
2947
0.166276
3205
0.166266
3507
0.166256
3960
0.166246
4203
0.166236
4424
0.166226
4861
0.166216
4991
0.166206
5398
0.166196
5753
0.166186
6054
0.166176
6223
0.166166
6587
0.166156
6874
0.166146
7080
0.166136
7311
0.166126
7550
0.166116
7483
0.166106
7656
0.166096
7941
0.166086
7988
0.166076
7731
0.166066
7635
0.166056
7652
0.166046
7621
0.166036
7403
0.166026
7408
0.166016
7125
0.166006
6882
0.165996
6568
0.165986
6415
0.165976
5863
0.165966
5538
0.165956
5504
0.165946
4897
0.165936
4808
0.165926
4522
0.165916
3971
0.165906
3814
0.165896
3623
0.165886
3238
0.165876
3006
0.165866
2788
0.165856
2561
0.165846
2388
0.165836
2220
0.165826
1981
0.165816
1840
0.165806
1642
0.165796
1484
0.165786
1420
0.165776
1286
0.165766
1201
0.165756
1072
0.165746
925
0.165736
947
0.165726
753
0.165716
788
0.165706
721
0.165696
544
0.165686
569
0.165676
581
0.165666
513
0.165656
468
0.165646
430
0.165636
317
0.165626
341
0.165616
410
0.165606
348
0.165596
181
0.165586
309
0.165576
268
0.165566
268
0.165556
272
0.165546
269
0.165536
170
0.165526
230
0.165516
269
0.165506
190
0.165496
203
0.165486
257
0.165476
48
0.165467
206
0.165457
199
0.165447
142
0.165437
170
0.165427
84
0.165417
167
0.165407
187
0.165397
166
0.165387
113
0.165377
139
0.165367
164
0.165357
215
0.165347
81
0.165337
119
0.165327
151
0.165317
88
0.165307
93
0.165297
80
0.165288
172
0.165278
143
0.165268
107
0.165258
61
0.165248
116
0.165238
133
0.165228
150
0.165218
58
0.165208
101
0.165198
43
0.165188
96
0.165178
74
0.165168
65
0.165159
113
0.165149
128
0.165139
153
0.165129
105
0.165119
178
0.165109
102
0.165099
122
0.165089
152
0.165079
88
0.165069
116
0.165059
160
0.165049
137
0.16504
133
0.16503
98
0.16502
0
0.16501
127
0.165
174
0.16499
99
0.16498
72
0.16497
92
0.16496
146
0.16495
138
0.164941
131
0.164931
144
0.164921
144
0.164911
143
0.164901
95
0.164891
96
0.164881
139
0.164871
138
0.164861
168
0.164852
113
0.164842
164
0.164832
141
0.164822
99
0.164812
159
0.164802
89
0.164792
100
0.164782
78
0.164773
134
0.164763
117
0.164753
148
0.164743
90
0.164733
99
0.164723
113
0.164713
92
0.164703
102
0.164694
183
0.164684
94
0.164674
89
0.164664
160
0.164654
99
0.164644
105
0.164634
155
0.164625
29
0.164615
92
0.164605
61
0.164595
91
0.164585
89
0.164575
144
0.164565
156
0.164556
161
0.164546
16
0.164536
85
0.164526
171
0.164516
119
0.164506
179
0.164496
177
0.164487
138
0.164477
186
0.164467
90
0.164457
144
0.164447
165
0.164437
87
0.164428
110
0.164418
140
0.164408
218
0.164398
135
0.164388
84
0.164378
50
0.164369
67
0.164359
149
0.164349
142
0.164339
113
0.164329
172
0.164319
126
0.16431
197
0.1643
117
0.16429
115
0.16428
57
0.16427
74
0.164261
193
0.164251
169
0.164241
194
0.164231
52
0.164221
145
0.164211
137
0.164202
64
0.164192
63
0.164182
144
0.164172
92
0.164162
113
0.164153
129
0.164143
 
Si3N4/Si as rec'd, gray color, 90 deg TOA
2003
5
10
14
51
30
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.02
1
0
0
1000
2000
55
0
data_5
data_5
-1
Binding energy
eV
112
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
4
4.00E-06
0
0
0
0
802
78
5587
0.107169
0.108964
243
0.108964
230
0.108959
224
0.108955
231
0.10895
204
0.108945
224
0.108941
216
0.108936
208
0.108932
212
0.108927
199
0.108923
205
0.108918
196
0.108914
172
0.108909
213
0.108904
225
0.1089
207
0.108895
206
0.108891
209
0.108886
210
0.108882
182
0.108877
189
0.108873
189
0.108868
182
0.108863
186
0.108859
195
0.108854
190
0.10885
197
0.108845
190
0.108841
179
0.108836
164
0.108832
177
0.108827
211
0.108823
164
0.108818
179
0.108813
168
0.108809
175
0.108804
185
0.1088
187
0.108795
171
0.108791
161
0.108786
162
0.108782
172
0.108777
175
0.108773
186
0.108768
173
0.108763
163
0.108759
170
0.108754
173
0.10875
163
0.108745
172
0.108741
162
0.108736
165
0.108732
164
0.108727
146
0.108723
162
0.108718
166
0.108714
138
0.108709
151
0.108704
159
0.1087
155
0.108695
162
0.108691
168
0.108686
151
0.108682
146
0.108677
166
0.108673
162
0.108668
148
0.108664
164
0.108659
150
0.108655
127
0.10865
150
0.108645
155
0.108641
143
0.108636
135
0.108632
140
0.108627
123
0.108623
160
0.108618
156
0.108614
157
0.108609
132
0.108605
159
0.1086
130
0.108596
142
0.108591
137
0.108587
155
0.108582
161
0.108578
156
0.108573
149
0.108568
130
0.108564
155
0.108559
155
0.108555
119
0.10855
160
0.108546
165
0.108541
130
0.108537
125
0.108532
154
0.108528
147
0.108523
133
0.108519
138
0.108514
136
0.10851
155
0.108505
124
0.108501
141
0.108496
143
0.108492
159
0.108487
139
0.108483
150
0.108478
137
0.108473
159
0.108469
180
0.108464
171
0.10846
172
0.108455
165
0.108451
169
0.108446
165
0.108442
194
0.108437
195
0.108433
184
0.108428
190
0.108424
214
0.108419
237
0.108415
231
0.10841
235
0.108406
274
0.108401
275
0.108397
289
0.108392
336
0.108388
315
0.108383
319
0.108379
372
0.108374
393
0.10837
439
0.108365
432
0.108361
523
0.108356
563
0.108352
646
0.108347
624
0.108343
626
0.108338
677
0.108334
745
0.108329
826
0.108325
873
0.10832
961
0.108315
951
0.108311
984
0.108306
1085
0.108302
1202
0.108297
1228
0.108293
1374
0.108288
1482
0.108284
1573
0.108279
1588
0.108275
1800
0.10827
1820
0.108266
2033
0.108261
2098
0.108257
2338
0.108252
2487
0.108248
2635
0.108243
2834
0.108239
2788
0.108234
3104
0.10823
3335
0.108225
3514
0.108221
3670
0.108216
3780
0.108212
4077
0.108207
4339
0.108203
4334
0.108198
4651
0.108194
4948
0.108189
4827
0.108185
5046
0.10818
5158
0.108176
5233
0.108171
5355
0.108167
5366
0.108162
5511
0.108158
5587
0.108153
5579
0.108149
5497
0.108144
5358
0.10814
5336
0.108135
5114
0.108131
4858
0.108126
4649
0.108122
4609
0.108118
4431
0.108113
4054
0.108109
3787
0.108104
3741
0.1081
3479
0.108095
3183
0.108091
2909
0.108086
2550
0.108082
2468
0.108077
2216
0.108073
1929
0.108068
1691
0.108064
1542
0.108059
1405
0.108055
1232
0.10805
1059
0.108046
948
0.108041
797
0.108037
731
0.108032
625
0.108028
616
0.108023
493
0.108019
492
0.108014
387
0.10801
356
0.108005
353
0.108001
283
0.107996
277
0.107992
253
0.107987
256
0.107983
218
0.107978
219
0.107974
216
0.107969
218
0.107965
197
0.107961
204
0.107956
163
0.107952
172
0.107947
193
0.107943
173
0.107938
181
0.107934
201
0.107929
179
0.107925
200
0.10792
168
0.107916
182
0.107911
193
0.107907
185
0.107902
180
0.107898
205
0.107893
163
0.107889
198
0.107884
190
0.10788
189
0.107875
194
0.107871
203
0.107867
194
0.107862
185
0.107858
180
0.107853
167
0.107849
177
0.107844
151
0.10784
157
0.107835
124
0.107831
143
0.107826
124
0.107822
107
0.107817
116
0.107813
116
0.107808
105
0.107804
106
0.107799
108
0.107795
89
0.107791
96
0.107786
99
0.107782
100
0.107777
83
0.107773
103
0.107768
92
0.107764
121
0.107759
115
0.107755
91
0.10775
113
0.107746
97
0.107741
103
0.107737
84
0.107732
94
0.107728
102
0.107724
101
0.107719
93
0.107715
97
0.10771
98
0.107706
96
0.107701
112
0.107697
92
0.107692
112
0.107688
115
0.107683
81
0.107679
86
0.107675
110
0.10767
102
0.107666
99
0.107661
111
0.107657
114
0.107652
96
0.107648
93
0.107643
99
0.107639
83
0.107634
118
0.10763
101
0.107625
107
0.107621
108
0.107617
89
0.107612
94
0.107608
97
0.107603
85
0.107599
114
0.107594
98
0.10759
107
0.107585
96
0.107581
118
0.107577
125
0.107572
103
0.107568
113
0.107563
124
0.107559
96
0.107554
100
0.10755
115
0.107545
84
0.107541
113
0.107536
88
0.107532
86
0.107528
90
0.107523
94
0.107519
101
0.107514
96
0.10751
100
0.107505
118
0.107501
96
0.107496
89
0.107492
95
0.107488
103
0.107483
86
0.107479
94
0.107474
98
0.10747
112
0.107465
95
0.107461
84
0.107456
97
0.107452
106
0.107448
82
0.107443
109
0.107439
85
0.107434
100
0.10743
89
0.107425
95
0.107421
101
0.107417
96
0.107412
92
0.107408
107
0.107403
117
0.107399
112
0.107394
107
0.10739
100
0.107385
102
0.107381
95
0.107377
106
0.107372
98
0.107368
120
0.107363
91
0.107359
82
0.107354
102
0.10735
82
0.107346
80
0.107341
101
0.107337
115
0.107332
107
0.107328
117
0.107323
117
0.107319
93
0.107315
80
0.10731
120
0.107306
100
0.107301
101
0.107297
90
0.107292
90
0.107288
80
0.107284
96
0.107279
95
0.107275
107
0.10727
109
0.107266
107
0.107261
93
0.107257
87
0.107253
90
0.107248
87
0.107244
107
0.107239
99
0.107235
85
0.10723
119
0.107226
93
0.107222
95
0.107217
88
0.107213
105
0.107208
105
0.107204
93
0.107199
82
0.107195
112
0.107191
78
0.107186
97
0.107182
79
0.107177
88
0.107173
96
0.107169
 
Si3N4/Si as rec'd, gray color, 90 deg TOA
2003
5
10
14
51
30
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
29.62
1
0
0
1000
2000
55
0
data_6
data_6
-1
Binding energy
eV
112
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
4
4.00E-06
0
0
0
0
802
5
804
0.14341
0.145497
36
0.145497
26
0.145492
29
0.145486
26
0.145481
24
0.145476
31
0.14547
41
0.145465
31
0.14546
30
0.145455
32
0.145449
42
0.145444
34
0.145439
22
0.145433
25
0.145428
29
0.145423
23
0.145418
31
0.145412
32
0.145407
47
0.145402
22
0.145396
27
0.145391
22
0.145386
27
0.145381
34
0.145375
37
0.14537
21
0.145365
27
0.145359
25
0.145354
41
0.145349
31
0.145344
33
0.145338
25
0.145333
23
0.145328
19
0.145322
15
0.145317
30
0.145312
35
0.145307
21
0.145301
24
0.145296
24
0.145291
29
0.145285
26
0.14528
15
0.145275
27
0.14527
19
0.145264
28
0.145259
26
0.145254
24
0.145249
10
0.145243
25
0.145238
20
0.145233
20
0.145227
29
0.145222
27
0.145217
20
0.145212
30
0.145206
23
0.145201
20
0.145196
17
0.145191
18
0.145185
35
0.14518
17
0.145175
28
0.145169
21
0.145164
16
0.145159
17
0.145154
21
0.145148
17
0.145143
25
0.145138
25
0.145133
20
0.145127
19
0.145122
16
0.145117
24
0.145112
17
0.145106
11
0.145101
15
0.145096
23
0.145091
16
0.145085
15
0.14508
11
0.145075
20
0.145069
23
0.145064
30
0.145059
18
0.145054
11
0.145048
23
0.145043
24
0.145038
19
0.145033
11
0.145027
13
0.145022
21
0.145017
22
0.145012
13
0.145006
13
0.145001
25
0.144996
8
0.144991
17
0.144985
16
0.14498
14
0.144975
18
0.14497
17
0.144964
23
0.144959
31
0.144954
16
0.144949
19
0.144943
11
0.144938
22
0.144933
14
0.144928
16
0.144922
21
0.144917
22
0.144912
24
0.144907
14
0.144901
26
0.144896
24
0.144891
23
0.144886
22
0.14488
28
0.144875
26
0.14487
34
0.144865
26
0.144859
27
0.144854
44
0.144849
43
0.144844
38
0.144838
41
0.144833
38
0.144828
36
0.144823
41
0.144817
50
0.144812
69
0.144807
57
0.144802
71
0.144796
74
0.144791
100
0.144786
83
0.144781
89
0.144775
85
0.14477
99
0.144765
129
0.14476
105
0.144754
118
0.144749
124
0.144744
142
0.144739
158
0.144734
166
0.144728
155
0.144723
183
0.144718
167
0.144713
231
0.144707
245
0.144702
198
0.144697
245
0.144692
260
0.144686
271
0.144681
284
0.144676
352
0.144671
321
0.144665
350
0.14466
402
0.144655
401
0.14465
418
0.144645
485
0.144639
502
0.144634
527
0.144629
569
0.144624
588
0.144618
622
0.144613
677
0.144608
650
0.144603
725
0.144597
710
0.144592
693
0.144587
746
0.144582
800
0.144577
778
0.144571
767
0.144566
804
0.144561
788
0.144556
794
0.14455
736
0.144545
720
0.14454
662
0.144535
707
0.14453
687
0.144524
662
0.144519
615
0.144514
530
0.144509
473
0.144503
492
0.144498
456
0.144493
424
0.144488
380
0.144483
375
0.144477
304
0.144472
292
0.144467
237
0.144462
189
0.144456
187
0.144451
183
0.144446
136
0.144441
133
0.144436
120
0.14443
100
0.144425
82
0.14442
78
0.144415
62
0.14441
64
0.144404
62
0.144399
46
0.144394
46
0.144389
46
0.144383
38
0.144378
31
0.144373
24
0.144368
25
0.144363
29
0.144357
21
0.144352
33
0.144347
23
0.144342
26
0.144337
30
0.144331
26
0.144326
29
0.144321
30
0.144316
25
0.144311
23
0.144305
33
0.1443
24
0.144295
31
0.14429
35
0.144285
21
0.144279
25
0.144274
20
0.144269
26
0.144264
26
0.144259
32
0.144253
26
0.144248
22
0.144243
39
0.144238
25
0.144233
32
0.144227
32
0.144222
25
0.144217
31
0.144212
20
0.144207
26
0.144201
21
0.144196
20
0.144191
18
0.144186
21
0.144181
12
0.144175
9
0.14417
18
0.144165
19
0.14416
24
0.144155
15
0.144149
17
0.144144
12
0.144139
18
0.144134
18
0.144129
9
0.144123
14
0.144118
20
0.144113
19
0.144108
8
0.144103
16
0.144097
12
0.144092
19
0.144087
11
0.144082
18
0.144077
11
0.144071
14
0.144066
19
0.144061
21
0.144056
21
0.144051
19
0.144046
17
0.14404
17
0.144035
15
0.14403
14
0.144025
12
0.14402
14
0.144014
22
0.144009
15
0.144004
13
0.143999
17
0.143994
16
0.143988
16
0.143983
10
0.143978
19
0.143973
15
0.143968
11
0.143963
20
0.143957
9
0.143952
15
0.143947
15
0.143942
16
0.143937
13
0.143931
20
0.143926
18
0.143921
15
0.143916
14
0.143911
17
0.143906
15
0.1439
10
0.143895
13
0.14389
19
0.143885
18
0.14388
21
0.143875
23
0.143869
18
0.143864
14
0.143859
17
0.143854
13
0.143849
14
0.143843
21
0.143838
8
0.143833
17
0.143828
18
0.143823
13
0.143818
13
0.143812
14
0.143807
18
0.143802
9
0.143797
16
0.143792
15
0.143787
12
0.143781
13
0.143776
11
0.143771
14
0.143766
18
0.143761
5
0.143756
22
0.14375
8
0.143745
12
0.14374
14
0.143735
12
0.14373
19
0.143725
16
0.143719
10
0.143714
11
0.143709
17
0.143704
18
0.143699
18
0.143694
9
0.143688
8
0.143683
13
0.143678
12
0.143673
12
0.143668
10
0.143663
19
0.143658
18
0.143652
11
0.143647
9
0.143642
17
0.143637
18
0.143632
12
0.143627
15
0.143621
15
0.143616
20
0.143611
15
0.143606
12
0.143601
17
0.143596
16
0.14359
18
0.143585
12
0.14358
23
0.143575
10
0.14357
15
0.143565
17
0.14356
8
0.143554
13
0.143549
13
0.143544
22
0.143539
18
0.143534
16
0.143529
13
0.143524
15
0.143518
21
0.143513
11
0.143508
13
0.143503
19
0.143498
17
0.143493
18
0.143487
15
0.143482
19
0.143477
18
0.143472
11
0.143467
13
0.143462
20
0.143457
15
0.143451
21
0.143446
19
0.143441
17
0.143436
18
0.143431
14
0.143426
12
0.143421
15
0.143415
16
0.14341
 
Si3N4/Si as rec'd, gray color, 90 deg TOA
2003
5
10
14
51
30
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.02
1
0
0
1000
2000
55
0
data_7
data_7
-1
Binding energy
eV
410
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
4
4.00E-06
0
0
0
0
802
0
12345
0.141296
0.144318
527
0.144318
509
0.144311
459
0.144303
498
0.144295
424
0.144288
461
0.14428
523
0.144272
543
0.144265
402
0.144257
401
0.144249
465
0.144241
361
0.144234
424
0.144226
460
0.144218
442
0.144211
428
0.144203
457
0.144195
372
0.144188
482
0.14418
360
0.144172
391
0.144164
354
0.144157
414
0.144149
396
0.144141
347
0.144134
432
0.144126
401
0.144118
384
0.144111
426
0.144103
323
0.144095
368
0.144088
324
0.14408
392
0.144072
340
0.144065
410
0.144057
324
0.144049
355
0.144041
352
0.144034
324
0.144026
403
0.144018
304
0.144011
341
0.144003
291
0.143995
329
0.143988
276
0.14398
334
0.143972
302
0.143965
309
0.143957
374
0.143949
345
0.143942
312
0.143934
305
0.143926
304
0.143919
275
0.143911
264
0.143903
282
0.143896
249
0.143888
305
0.14388
281
0.143873
296
0.143865
294
0.143857
271
0.14385
318
0.143842
282
0.143834
224
0.143827
190
0.143819
298
0.143811
265
0.143804
321
0.143796
265
0.143788
265
0.143781
290
0.143773
223
0.143766
265
0.143758
230
0.14375
224
0.143743
209
0.143735
204
0.143727
210
0.14372
208
0.143712
216
0.143704
244
0.143697
243
0.143689
262
0.143681
251
0.143674
166
0.143666
184
0.143658
173
0.143651
193
0.143643
230
0.143636
185
0.143628
179
0.14362
188
0.143613
217
0.143605
204
0.143597
178
0.14359
234
0.143582
214
0.143574
155
0.143567
192
0.143559
150
0.143552
201
0.143544
163
0.143536
157
0.143529
169
0.143521
191
0.143513
167
0.143506
131
0.143498
165
0.14349
167
0.143483
214
0.143475
81
0.143468
182
0.14346
215
0.143452
198
0.143445
185
0.143437
133
0.14343
152
0.143422
206
0.143414
195
0.143407
218
0.143399
142
0.143391
196
0.143384
211
0.143376
201
0.143369
232
0.143361
205
0.143353
209
0.143346
230
0.143338
191
0.143331
277
0.143323
182
0.143315
235
0.143308
231
0.1433
264
0.143292
157
0.143285
223
0.143277
178
0.14327
252
0.143262
227
0.143254
207
0.143247
231
0.143239
265
0.143232
251
0.143224
200
0.143216
190
0.143209
205
0.143201
272
0.143194
239
0.143186
284
0.143178
259
0.143171
267
0.143163
270
0.143156
281
0.143148
277
0.143141
272
0.143133
298
0.143125
198
0.143118
330
0.14311
319
0.143103
289
0.143095
344
0.143087
382
0.14308
372
0.143072
359
0.143065
374
0.143057
342
0.143049
318
0.143042
327
0.143034
391
0.143027
374
0.143019
424
0.143012
430
0.143004
358
0.142996
433
0.142989
447
0.142981
484
0.142974
347
0.142966
387
0.142959
489
0.142951
489
0.142943
401
0.142936
502
0.142928
542
0.142921
559
0.142913
595
0.142906
589
0.142898
644
0.14289
648
0.142883
634
0.142875
740
0.142868
885
0.14286
902
0.142853
1043
0.142845
1085
0.142838
1198
0.14283
1317
0.142822
1406
0.142815
1658
0.142807
1844
0.1428
2091
0.142792
2308
0.142785
2696
0.142777
2967
0.142769
3342
0.142762
3551
0.142754
4009
0.142747
4546
0.142739
4938
0.142732
5615
0.142724
6008
0.142717
6665
0.142709
7242
0.142702
7855
0.142694
8590
0.142686
8996
0.142679
9655
0.142671
10260
0.142664
10743
0.142656
11055
0.142649
11672
0.142641
11871
0.142634
12207
0.142626
12345
0.142619
12270
0.142611
12303
0.142603
12275
0.142596
12197
0.142588
11788
0.142581
11600
0.142573
11274
0.142566
10727
0.142558
10352
0.142551
9568
0.142543
9086
0.142536
8545
0.142528
7660
0.142521
7148
0.142513
6302
0.142506
5912
0.142498
5193
0.142491
4738
0.142483
4216
0.142475
3731
0.142468
3219
0.14246
2789
0.142453
2556
0.142445
2227
0.142438
2010
0.14243
1857
0.142423
1444
0.142415
1307
0.142408
1137
0.1424
1044
0.142393
923
0.142385
871
0.142378
762
0.14237
660
0.142363
627
0.142355
511
0.142348
482
0.14234
449
0.142333
376
0.142325
444
0.142318
366
0.14231
303
0.142303
241
0.142295
281
0.142288
287
0.14228
287
0.142273
243
0.142265
267
0.142258
306
0.14225
203
0.142243
202
0.142235
224
0.142228
141
0.14222
217
0.142213
126
0.142205
252
0.142198
156
0.14219
175
0.142183
145
0.142175
151
0.142168
129
0.14216
94
0.142153
149
0.142145
152
0.142138
98
0.14213
166
0.142123
119
0.142115
117
0.142108
98
0.1421
153
0.142093
91
0.142085
59
0.142078
93
0.14207
137
0.142063
160
0.142055
84
0.142048
109
0.14204
98
0.142033
18
0.142025
80
0.142018
51
0.14201
92
0.142003
41
0.141995
62
0.141988
55
0.14198
126
0.141973
93
0.141965
99
0.141958
76
0.141951
78
0.141943
40
0.141936
64
0.141928
88
0.141921
82
0.141913
69
0.141906
62
0.141898
73
0.141891
101
0.141883
70
0.141876
119
0.141868
49
0.141861
6
0.141853
61
0.141846
27
0.141839
98
0.141831
50
0.141824
49
0.141816
40
0.141809
88
0.141801
38
0.141794
64
0.141786
90
0.141779
35
0.141771
95
0.141764
95
0.141756
67
0.141749
50
0.141742
103
0.141734
58
0.141727
43
0.141719
104
0.141712
44
0.141704
15
0.141697
72
0.141689
79
0.141682
8
0.141675
35
0.141667
37
0.14166
99
0.141652
45
0.141645
75
0.141637
61
0.14163
46
0.141622
96
0.141615
3
0.141608
67
0.1416
61
0.141593
59
0.141585
64
0.141578
100
0.14157
46
0.141563
67
0.141555
94
0.141548
113
0.141541
25
0.141533
60
0.141526
122
0.141518
20
0.141511
33
0.141503
60
0.141496
55
0.141489
3
0.141481
112
0.141474
88
0.141466
55
0.141459
90
0.141451
62
0.141444
94
0.141437
94
0.141429
17
0.141422
136
0.141414
88
0.141407
80
0.1414
142
0.141392
57
0.141385
58
0.141377
59
0.14137
0
0.141362
29
0.141355
68
0.141348
36
0.14134
39
0.141333
40
0.141325
116
0.141318
57
0.141311
32
0.141303
74
0.141296
 
Si3N4/Si as rec'd, gray color, 90 deg TOA
2003
5
10
14
51
30
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
29.62
1
0
0
1000
2000
55
0
data_8
data_8
-1
Binding energy
eV
410
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
4
4.00E-06
0
0
0
0
802
107
1947
0.182382
0.18577
194
0.18577
204
0.185761
217
0.185753
186
0.185744
193
0.185736
206
0.185727
209
0.185718
182
0.18571
187
0.185701
195
0.185692
188
0.185684
179
0.185675
194
0.185667
196
0.185658
209
0.185649
200
0.185641
173
0.185632
186
0.185623
158
0.185615
183
0.185606
186
0.185598
182
0.185589
170
0.18558
167
0.185572
165
0.185563
197
0.185555
174
0.185546
193
0.185537
225
0.185529
199
0.18552
181
0.185512
181
0.185503
192
0.185494
164
0.185486
164
0.185477
173
0.185469
185
0.18546
198
0.185451
160
0.185443
178
0.185434
205
0.185426
163
0.185417
164
0.185408
179
0.1854
181
0.185391
171
0.185383
179
0.185374
183
0.185365
173
0.185357
171
0.185348
159
0.18534
184
0.185331
183
0.185322
164
0.185314
162
0.185305
172
0.185297
173
0.185288
175
0.18528
166
0.185271
190
0.185262
158
0.185254
152
0.185245
174
0.185237
164
0.185228
177
0.185219
169
0.185211
174
0.185202
128
0.185194
179
0.185185
158
0.185177
165
0.185168
153
0.185159
157
0.185151
152
0.185142
160
0.185134
152
0.185125
156
0.185117
167
0.185108
150
0.185099
154
0.185091
143
0.185082
162
0.185074
151
0.185065
156
0.185057
151
0.185048
165
0.18504
143
0.185031
163
0.185022
143
0.185014
183
0.185005
143
0.184997
173
0.184988
162
0.18498
166
0.184971
160
0.184963
151
0.184954
162
0.184945
164
0.184937
144
0.184928
133
0.18492
130
0.184911
140
0.184903
121
0.184894
143
0.184886
124
0.184877
140
0.184869
127
0.18486
168
0.184851
149
0.184843
154
0.184834
131
0.184826
141
0.184817
133
0.184809
138
0.1848
132
0.184792
164
0.184783
142
0.184775
135
0.184766
145
0.184758
134
0.184749
125
0.18474
169
0.184732
161
0.184723
161
0.184715
147
0.184706
146
0.184698
159
0.184689
145
0.184681
140
0.184672
142
0.184664
158
0.184655
128
0.184647
157
0.184638
159
0.18463
152
0.184621
151
0.184613
152
0.184604
158
0.184596
164
0.184587
145
0.184578
156
0.18457
147
0.184561
158
0.184553
146
0.184544
154
0.184536
133
0.184527
153
0.184519
150
0.18451
184
0.184502
169
0.184493
161
0.184485
161
0.184476
143
0.184468
151
0.184459
160
0.184451
160
0.184442
172
0.184434
170
0.184425
154
0.184417
167
0.184408
172
0.1844
167
0.184391
156
0.184383
182
0.184374
161
0.184366
157
0.184357
163
0.184349
204
0.18434
173
0.184332
179
0.184323
169
0.184315
183
0.184306
194
0.184298
171
0.184289
165
0.184281
195
0.184272
184
0.184264
190
0.184255
182
0.184247
179
0.184238
186
0.18423
201
0.184221
205
0.184213
219
0.184204
216
0.184196
190
0.184188
239
0.184179
209
0.184171
230
0.184162
218
0.184154
255
0.184145
229
0.184137
258
0.184128
271
0.18412
277
0.184111
314
0.184103
354
0.184094
347
0.184086
351
0.184077
386
0.184069
473
0.18406
506
0.184052
553
0.184043
598
0.184035
616
0.184026
752
0.184018
783
0.18401
828
0.184001
861
0.183993
1010
0.183984
1077
0.183976
1172
0.183967
1270
0.183959
1313
0.18395
1474
0.183942
1486
0.183933
1643
0.183925
1668
0.183917
1659
0.183908
1787
0.1839
1831
0.183891
1860
0.183883
1917
0.183874
1880
0.183866
1947
0.183857
1879
0.183849
1869
0.18384
1858
0.183832
1737
0.183824
1647
0.183815
1628
0.183807
1514
0.183798
1457
0.18379
1278
0.183781
1205
0.183773
1122
0.183764
1057
0.183756
1001
0.183748
949
0.183739
787
0.183731
662
0.183722
637
0.183714
594
0.183705
492
0.183697
464
0.183688
438
0.18368
380
0.183672
346
0.183663
309
0.183655
303
0.183646
301
0.183638
225
0.183629
239
0.183621
238
0.183613
203
0.183604
197
0.183596
163
0.183587
196
0.183579
176
0.18357
157
0.183562
174
0.183554
177
0.183545
178
0.183537
177
0.183528
159
0.18352
151
0.183511
168
0.183503
165
0.183495
163
0.183486
144
0.183478
147
0.183469
154
0.183461
125
0.183453
152
0.183444
173
0.183436
148
0.183427
133
0.183419
166
0.183411
147
0.183402
121
0.183394
144
0.183385
137
0.183377
139
0.183368
139
0.18336
148
0.183352
153
0.183343
138
0.183335
151
0.183326
134
0.183318
128
0.18331
142
0.183301
147
0.183293
139
0.183284
146
0.183276
147
0.183268
148
0.183259
139
0.183251
144
0.183242
155
0.183234
128
0.183226
146
0.183217
157
0.183209
130
0.183201
131
0.183192
133
0.183184
135
0.183175
138
0.183167
140
0.183159
149
0.18315
133
0.183142
135
0.183133
136
0.183125
140
0.183117
121
0.183108
142
0.1831
153
0.183091
155
0.183083
135
0.183075
141
0.183066
138
0.183058
136
0.18305
123
0.183041
126
0.183033
138
0.183024
129
0.183016
113
0.183008
136
0.182999
137
0.182991
133
0.182983
142
0.182974
114
0.182966
120
0.182958
137
0.182949
140
0.182941
135
0.182932
127
0.182924
120
0.182916
125
0.182907
130
0.182899
127
0.182891
134
0.182882
130
0.182874
131
0.182866
150
0.182857
125
0.182849
158
0.18284
155
0.182832
150
0.182824
138
0.182815
135
0.182807
156
0.182799
147
0.18279
136
0.182782
133
0.182774
161
0.182765
138
0.182757
118
0.182749
135
0.18274
137
0.182732
132
0.182723
134
0.182715
148
0.182707
129
0.182698
145
0.18269
151
0.182682
148
0.182673
122
0.182665
132
0.182657
137
0.182648
133
0.18264
145
0.182632
107
0.182623
144
0.182615
148
0.182607
142
0.182598
117
0.18259
137
0.182582
150
0.182573
137
0.182565
136
0.182557
131
0.182548
130
0.18254
145
0.182532
151
0.182523
141
0.182515
128
0.182507
145
0.182498
134
0.18249
137
0.182482
125
0.182473
129
0.182465
141
0.182457
138
0.182448
121
0.18244
134
0.182432
143
0.182423
135
0.182415
127
0.182407
125
0.182399
147
0.18239
138
0.182382
end of experiment
